洁净室建成投产后，需进行性能测定和验收；系统大修或更新时，应进行测量，测量前需要充分了解洁净室的概况。

主要内容包括净化空调系统的平面、剖面和系统图以及工艺布置对空气环境条件、洁净度等级、温度、湿度和风速等的要求。空气处理方案送回空气、排风量和气流、组织人和物的净化方案、厂区洁净室使用及其周边污染等。

一、洁净室竣工验收的外观检查应符合下列要求

1洁净室.各种管道、自动灭火装置和净化空调设备、空调器、风机、净化空调机组、空气过滤器和浴房等。应安装正确、牢固、严密，其偏差应符合有关规定。

2.空气过滤器与支撑架的连接以及风管与设备的连接应密封可靠。

3.洁净室各种调节装置应严密、灵活、易于操作。

4.净化空调箱、静压箱、风道系统及送、回风口无灰尘。

5.洁净室的内墙面、天花板表面和地面应光滑、平整、色泽均匀、无尘、无静电。

6.当送、回风口、各种末端装置、各种管道、照明及动力管线管道、工艺设备穿越洁净室时，穿越处的密封处理应严密可靠。

7.洁净室中的各种配电屏和配电柜，以及进入洁净室的电气管线和管口应密封可靠。各种涂刷和保温工作应符合相关规定。

二、洁净室制造完工验收的调试

1.凡有调试要求的，单机调试应符合设备技术文件的有关规定。

机械设备的一般要求还应符合机械设备施工安装的相关国家规定和相关行业标准。通常洁净室单机调试的设备有空调机组、送风增压风机箱、排风设备、净化工作台、静电自净器、洁净干燥箱、洁净存储柜等局部净化设备，以及风淋室、余压阀、真空吸尘设备等。

2.单机调试合格后，应设置和调整送风系统、回风系统和排风系统的风量和风压调节装置，使各系统的风量分配符合设计要求。

这个阶段测试的目的主要是服务于洁净室的空调净化系统的调节和平衡，往往需要多次重复。这个测试主要由承包商进行，施工方的维护管理人员要跟进熟悉系统。

在此基础上，洁净室系统包括冷热源的联合调试时间一般不小于8h。要求系统中的所有设备部件，包括净化空调系统、自动调节装置等。应动作正确，在联动操作和协调过程中无异常现象。