在一定洁净度条件下，气流速度的确定因洁净室的用途和其他具体情况而异。它不仅受室内粉尘排放和过滤效率的影响，还受其他因素的影响。就工业洁净室而言，影响洁净度和选择气流速度的主要因素有：

　　(1)室内污染源：洁净室厂家认为建筑构件、人员数量和操作活动、工艺设备、工艺材料和工艺本身都是尘粒释放的来源，根据具体情况变化较大；

　　(2)室内气流形态和分布：单向流动要求流线均匀、均等，但会受到工艺设备的布置和位置变化、人员活动等因素的干扰。形成局部涡流；非单向流动需要填充和混合，以避免死角和温度分层；

　　(3)自清洁时间(恢复时间)的控制要求：洁净室中污染物的意外释放或气流中断，正常运行时的间歇性对流气流或人员、设备的移动都会导致洁净度的恶化，恢复到原有洁净度的自清洁时间取决于气流速度；自清洁时间的控制要求取决于在该时间段内(在清洁度恶化的情况下)对产品质量和产量影响的容忍度；

　　(4)末级过滤器的效率：洁净室厂家认为在室内粉尘排放量一定的情况下，可以采用效率更高的过滤器来降低气流速度；为了节能，应该考虑采用高效的过滤器并降低气流速度，或者采用更低效的过滤器并提高气流速度，使流量和阻力的乘积小化；

　　(5)经济性考虑：过大的风速增加了投资和运行成本，合适的风速是上述因素的合理组合，往往是不必要的，也不一定有效；

　　(6)对于洁净度要求不高的洁净室，有时换气次数取决于室内排热的要求。

　　室内洁净室气流的横向扩散只有在非常低的流速下才有可能。在合理的气流组织下，单向流动0.05 ~ 0.1m/s的流速就足以带走污染物，而在此流速下，亚微米颗粒的扩散性能远低于对流。而大于0.36m/s的空气流速容易产生百万涡流，会导致污染物的重新卷入。因此，洁净室的理想自清洁时间Tr=体积/流量。达到一定值后，由于污染物的再夹带和空气流速的增加，实际Tr不会明显降低。

　　目前部分IC厂有ISO5 (0.3m)洁净室，采用ULPA(99.9995%，0.12m)的FFU系统，出口风速为0.38m/s，其全分布率为25%，因此室内平均风速为0.095m/s，低于相关推荐或参考值的下限。在这个洁净室中，微环境中在洁净室中工作的人较少，可以认为洁净室中的工艺相对较低，在这种情况下，采用低气流速度可能是可取的。